产品详情
  • 产品名称:高精度测量显微镜

  • 产品型号:三丰MF/MF-U系列
  • 产品厂商:日本三丰
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简单介绍:
★自动化且精度较高的测量显微镜(*小显示分辨力0.01um)。 ★主机的前台操作设计是基于UD( 通用化设计)的理念。 ★配备三轴电动前置控制手柄,这使传统的显微镜操作有了全新的变化,即使在快速运动的过程中也能进行精细定位。 ★用户可选择传统的显微镜光学管路或带内置激光自动对焦功能的光学管路,其观察方法多种多样,提高了测量工作的效率。 ★行程为250×150mm 的大工作台可为大工件的测量提供足够的空间。 ★使用超高精度低热膨的玻璃光栅尺和高分辨力的读数头。 ★畅销的数据处理装置QM-Data200 和Vision Unit可结合使用,提供有效且稳定的测量环境。 ★晶片夹持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架满足高精度测量的需求。 ★电动转塔型拥有回缩功能,该功能在更换物镜时启动工作。
详情介绍:

高精度测量显微镜MF/MF-U系列产品技术参数:


 

型号

HyperMF-B2515B

HyperMF-UB2515B

HyperMF-UD2515B

HyperMF-UE2515B

HyperMF-UF2515B

货号

176-430*1

176-431*1

176-432*1

176-433*1

176-434*1

光路

 

有限校正光学系统

无限校正光学系统
BF(亮视场)

无限校正光学系统
BD(亮/暗视场)

无限校正光学系统
BF(亮视场)带LAF功能

无限校正光学系统
BF(亮/暗视场)带LAF功能

标准分划板(内置)

90o点划线十字线(线宽5μm)

可调瞳距

西登托夫型调节范围:51-76mm

光路切换比

观察/TV显微摄影=50/50

垂直倾斜度

25o

倾斜

TV端口

作为标准配置提供

观察图像

正像

目镜

放大倍率

10X, 15X, 20X

物镜(可选)

 

可选单筒目镜(配有一个目镜)
或双筒目镜(配有两个目镜)

配备两个10X目镜

ML系列物镜

1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X

BF(亮视场)

M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo

BD(亮/暗视场)

BD Plan Apo, BD Plan Apo SL

转塔(可选)

BF(亮视场)

(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器*2)

BD(亮/暗视场)

(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器*3)

聚焦部分

工件高度

可达150mm

测量精度

(1.5+0.01L) μm L:测量长度(mm)

驱动方式

使用控制手柄进行电动控制

照明装置

透射照明装置

远心光学系统,内置孔径光阑,卤素灯泡(12V,50W),100级光强度可调,光纤冷光照明

反射照明装置

科勒照明,可变孔径光阑机制,卤素灯泡(12V,100W),100级光强度可调,光纤冷光照明

工作台

测量范围(XxY)

250×150mm

测量精度*4(X和Y轴无负载)

(0.9+0.003L) μm L:测量长度(mm)

工作台台面尺寸

460×350mm

载物玻璃有效尺寸

300×200mm

旋转角度

±3o

承重

30kg

驱动方式

使用手柄进行电动控制

检测器

高精度光栅尺(砖利)

数显

分辨力

0.01μm

显示轴

X, Y, Z

数据处理装置

QM-DATA200或Vision Unit

操作部分

手柄急停按钮

可用

精细间距

可用

数据输出

可用

数字显示复位

可用

照明光强度控制

可用

LAF(只对焦)

可用

LAF(跟踪对焦)

可用

转塔控制

可用 (安装电动转塔时)

重量

显微镜主机

约250kg

约255kg

电源装置

14kg

电源

100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗:700W

 

 

 

 

 

产品特点


★MF-U 系列的电动型。X、Y 和 Z 轴均为电动控制,工作台可由控制手柄进行操作。
★Vision Unit (选件) 能使影像自动对焦。
★照明装置(反射/透射) 可选用高亮度LED 灯泡或卤素灯泡(必选)。
★利用可变孔径光阑(反射/透射) 可进行无衍射观察测量。
★标准测量显微镜,配有种类繁多的可选附件,包括各种CCD 数码相机。
★使用经过验证的FS 光学系列高NA 物镜(长工作距离型)。
★金相显微镜和测量显微镜的功能相结合,提供了高分辨力观察和高精度测量的方案。
★高倍放大目镜,观察倍数高达4000X。
★MF-UE/UF 能够进行激光自动对焦。标准激光自动对焦功能还带有追踪功能,即使在工作台移动时,也能保持对焦。

 

 

BF(亮视场)

型号

MF-UG2017D

MF-UG3017D

MF-UG4020D

MF-UE2017D

MF-UE3017D

MF-UE4020D

货号

176-784*1

176-785*1

176-786*1

176-790*1

176-791*1

176-792*1

BD(亮/暗视场)

型号

MF-UH2017D

MF-UH3017D

MF-UH4020D

MF-UF2017D

MF-UF3017D

MF-UF4020D

货号

176-787*1

176-788*1

176-789*1

176-793*1

176-794*1

176-795*1

观察图像

BF(亮视场),DF(暗视场) (仅MF-UC和MF-UD型),偏光,微分干涉对比(DIC)/正像

目镜

屈光度调节

10X(标准选件) (视场数:24),15X,20X

物镜(可选)

BF(亮视场)

M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有镜头)

BD(亮/暗视场)

BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有镜头)

照明装置(二选一)

LED照明装置

透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节,冷却风扇
反射照明:科勒照明,可调孔径光阑,白色LED光源,无极光强度调节
控制装置:电源ON/ OFF开关(主开关),100 - 240V AC电源输入连接器

卤素照明装置

透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,卤素灯泡(12V, 50W),无极亮度调节,冷却风扇
反射照明:BF/ BD柯勒照明与可调孔径光阑,12V100W或12V15W卤素灯泡(可选),外部光纤照明,无级亮度调节
控制装置:电源ON/ OFF开关(主开关),100 - 240V AC电源输入连接器

影像AF*2

激光AF*2

XY轴

测量范围

200×170mm

300×170mm

400×200mm

200×170mm

300×170mm

400×200mm

Z轴

测量范围

220mm

测量精度*3

(X和Y轴无负载)

(2.2+0.02L) μm L:测量长度(mm)

数显计数器

分辨力

1/0.5/0.1μm 可切换

 

型号

MF-G2017D

MF-G3017D

MF-G4020D

货号

176-781*1

176-782*1

176-783*1

观察图像

BF(明视场)/正像

目镜

屈光度调节

10X(视场数24),15X,20X
注:单目筒镜:1个10X目镜(标配),双目筒镜:2个10X目镜(标配)

物镜

 

ML系列3X物镜(标配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

照明装置(二选一)

LED照明装置

透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节,冷却风扇
反射照明:科勒照明,可调孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节
控制装置:电源ON/ OFF开关(主开关),100 - 240V AC电源输入连接器

卤素照明装置

透射照明:远心光学系统,内置孔径光圈,卤素灯泡(12V, 50W),无极亮度调节,冷却风扇
反射照明:科勒照明,可调孔径光圈,卤素灯泡(12V, 50W),无极亮度调节,冷却风扇
控制装置:电源ON/ OFF开关(主开关),100 - 240V AC电源输入连接器

影像AF*2

?

XY轴

测量范围

200×170mm

300×170mm

400×200mm

Z轴

测量范围

220mm

测量精度*3

(X和Y轴无负载)

(2.2+0.02L) μm L:测量长度(mm)

数显计数器

分辨力

1/0.5/0.1μm 可切换

 

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